Датчик давления.

1. Полупроводниковые тензометрические датчики

Высокая чувствительность и точность, линейность выходного сигнала, возможность использования серийно выпускаемых тензорезисторов и упругих чувствительных тензоэлементов, а также технологичность характеризуют эти датчики как наиболее удовлетворяющие современным требованиям. Датчики с наклееными тензорезисторами могут иметь миниатюрное исполнение с диаметром мембраны 3-3,5 мм.
Использование автоэпитаксиальных и гетероэпитаксиальных чувствительных элементов позволяет конструировать датчики давления с наружным диаметром 1,5-2,5 мм. Для микродатчиков давления (точечных) могут быть использованы пьезочувствительные транзисторы. Однако разработка этих датчиков затруднена высоким уровнем шумовых характеристик пьезочувствительных транзисторов.
Полупроводниковые тензодатчики давления чувствительны к ударам, вибрациям, ядерной радиации и другим внешним воздействиям, однако основным фактором, вызывающим погрешности в измерениях давления, является изменение температуры окружающей среды. Таким образом, выходной электрический сигнал U0 датчика давления и его полный дифференциал можно представить в следующем виде:
U0=f(p,T);
dU0=(∂U0/∂p)t dp + (∂U0/∂T)p dt
и в линеаризованном виде
U0=U0/p|T p + U0/T|p T;
U0Spp + STT,

где Sp и ST соответственно чувствительность датчика по давлению и температуре.
Линеаризация допустима, поскольку статические характеристики рассматриваемых датчиков линейны в пределах ±1,5% верхнего предела измерений. При испытаниях датчиков на влияние температуры необходимо учитывать не только предельные значения температуры и способы нагрева, но и изменение температуры во времени, причем так, чтобы режим T1=const и T2=const выдерживался в течении времени t1, t2 не менее времени, ожидаемого в условиях рабочих измерений.

ОГЛАВЛЕНИЕ

Введение
1.Полупроводниковые тензометрические датчики 3
1.1.Технология наклеивания тензорезисторов 6
1.2.Миниатюрный внутриполостной датчик давления крови 7
1.3.Полупроводниковый дифференциальный датчик низких давлений 8
1.4.Полупроводниковый щуп контактных давлений 10
1.5.Полупроводниковый гетероэпитаксиальный датчик высоких давлений 11
1.6.Полупроводниковый гетероэпитаксиальный датчик давления крови 13
2.Гальваномагнитные датчики 14
3.Емкостные датчики 17
3.1.Емкостной датчик высоких давлений 17
3.2.Емкостной датчик давления крови 19
4.Струнные датчики 20

1. Пр. Люсов В.А., к.м.н. Волов Н.А., к.м.н. Кокорин В.А. Проблемы и достижения в области измерения артериального давления.  Москва, Российский государственный медицинский университет,2005
2. Журнал «Современная электроника» 6, 2006
3. Готры З. Ю., Чайковский О. И. Датчики. Справочник. Издательство "Каменяр", Львов, 1995
4. http://www.chipdip.ru/ - электронные компоненты и приборы