История развития электронной микроскопии .

Введение На протяжении длительного времени человек жил в окружении невидимых существ, использовал продукты их жизнедеятельности (например, при выпечке хлеба из кислого теста, приготовлении вина и уксуса), страдал, когда эти существа являлись причинами болезней или портили запасы пищи, но не подозревал об их присутствии [1]. Не подозревал потому, что не видел, а не видел потому, что размеры этих микро существ лежали много ниже того предела видимости, на который способен человеческий глаз. Известно, что человек с нормальным зрением на оптимальном расстоянии (25–30 см) может различить в виде точки предмет размером 0,07–0,08 мм. Меньшие объекты человек заметить не может. Это определяется особенностями строения его органа зрения [2]. Приблизительно в то же время, когда началось исследование космоса с помощью телескопов, были сделаны первые попытки раскрыть, с помощью линз тайны микромира. Так, при археологических раскопках в Древнем Вавилоне находили двояковыпуклые линзы — самые простые оптические приборы. Линзы были изготовлены из отшлифованного горного хрусталя. Можно считать, что с их изобретением человек сделал первый шаг на пути в микромир. Тема развития микроскопии сейчас актуальна как никогда. В настоящее время во всем мире уделяется все возрастающее внимание исследованиям атомной структуры вещества приминительно к созданию новых полупроводниковых материалов, наноструктур, углеродных нанотрубок, металлов и сплавов, алмазных пленок, керамик и приборов на их основе. Понимание их строения на наноуровне, а также анализ различных парметров, включая границы раздела и электронные связи в кристаллических решетках, которые во многом определяют прочностные и электронные свойства получаемых новых материалов, влияют как на выбор технологии получения этих материалов, так и на применение в различных приборах. Постоянный прогресс в развитии методической и приборной базы аналитической просвечивающей электронной микроскопии позволяет не уступать самые передовые позиции таким новейшим методам, как атомно-силовая микроскопия, Оже-микроанализ, РФЭС ВИМС, ЭПР, и различным рентгеновским спектральным методам исследования (например, EXAFS-спектроскопии) [3]. Целью данной работы является показать весь путь развития микроскопии вплоть до настоящего времени. Рассмотреть эволюцию приборов и методов их использования.

Введение 1 История развития микроскопии 1.1 Методы световой микроскопии 2 Современная микроскопия 2.1 Аналитическая электронная микроскопия и методы характеризации материалов 2.2 Просвечивающий электронный микроскоп с компьютерным управлением и управление данными анализа Заключение Список литературы 3 5 7 11 13 18 20 21

1 Shindo D. Hiraga К (1998) High-resolution elec-tron microscopy for materials science. Springer, Tokyo 2. Wentzel G (1927) Zwei Bemerkunger Liber die Zer~streuung Korpuskuiarcr Strahlen als Bcugungser-scheinung. Z Physik 40:590 3. Mott NF, Massey HWW (1965) The theory of atomic collision. Oxford University Press, Oxford 4. Cosslett VE, Thomas RN (1964) Multiple scattering of 5-30 keV electrons in evaporated metal films. I. Total transmission and angular distribution. Br JAppi Phys 15:883 5. McKJnley WA, Freshbach H (1948) The Coulomb scattering of relativistic electrons by nuclei. Phys Rev 74:1759 6. Powell CJ (1976) Cross sections for ionization of inner-shell electrons by electrons. Rev Mod №f' *S:33 7. Powelt CJ (1976) Use of Monte Carlo calculations. National Bureau of Standards Special Publication 460. NBS, Washington, DC, p. 97 8. Goldstein JI, Costley JL, Lorimer GW, Reed SJB (1977) Quantitative X-ray analysis in the electron microscope. В сборнике: Johari О (ed) Proceed-ings of the workshop on analytical electron microscopy, scanning electron microscopy, Chicago, vol. К p, 315 9. Lee C-W, Kidu S, Oikawa T, Shindo D (2001) Estimation of electron beam broadening. Proceedings Microscopy and Microanalysis, Long Beach, California, vol 7. Springer, New York, p204 10. Shindo D, Hiraga K, Hirabayashi M, Kikuchi M, Syono Y, Furuno S, Hojou K, Soga T, Otsu H (1989) In situ observation of oxygen K-edge tine struc ture of YBa2Cu3G7 by EELS. J Electron Microsc 38:155 11. Shindo D, Hiraga K, Hirabayashi M, Kobayashi N, Kikuchi M, Kusaba K, Syono Y. Muto Y(1988) Analytical electron microscopic study of high-T. superconductor Bi-Ca-Sr-Cu-O Jpn J. Appl. Phys. 27:L2048 12.Taniyama A, Shindo D, Hiraga K, Oikawa % Kersker M (1997) Database of electron microscope images on the World Wide Web. In: Proceedings Microscopy and Microanalysis, Cleveland. Springer, New York, p. 1105 13. Shindo D, Ikematsu Y, Lim S-H, Yonenaga I (2000) Digital electron microscopy on advanced materials. Mater Characterization 44:375 14. Пилянкевич А.Н., Климовицкий А.М. Электронные микроскопы, Киев. «Техшка», 1976, 168 с. 15. Сушкин Н.Г. Электронный микроскоп, М. 1949. – 274 с.