|
Расход ПГС, м3/час
|
400-500
|
|
Скорость роста покрытия, мкм/ч
|
до 200
|
|
Материал подложки
|
Графит, кварц, сапфир, кремний, метал-
|
|
|
лы
|
|
Типы подложек
|
Стержень, нить, жгут, ткань, таблетка, проволока, лента, графи-
|
|
|
товые волокна
|
|
Прямой выход целевого продукта, %
|
12-15
|
|
Сквозное извлечение, %
|
83-87
|
условиях
получены образцы покрытия пространственно упорядоченных пироуглеродных структур
на графитовых подложках со скоростью роста до 0,2 мм/час, что более чем на
полтора порядка превышает скорость роста в получившей широкое распространение
технологии пиролиза метана в вакууме. Оптимальные параметры процесса и
характеристики графитовых изделий с покрытиями из пироуглерода даны в таблицах
1 и 2. Дополнительным параметром, определяющим механизм и кинетику процесса, наряду с температурой и давлением является «третий параметр» — отношение
свободного объема реакционного пространства к площади поверхности осаждения
(Уу/5жзж^). Моделирование элементарных реакций при химическом осаждении
пироуглеродных структур и экспериментальная проверка результатов моделирования
показали, что при больших значениях этого параметра скорость осаждения
пироуглеродных структур остается постоянной и относительно низкой. С
уменьшением указанного отношения наблюдается увеличение скорости осаждения в
4—5 раз, связанное с уменьшением коли-
Таблица
2
Характеристика
графитовых изделий с пироуглеродным покрытием
Главная