Жидкостное химическое травление
| Категория реферата: Рефераты по химии
| Теги реферата: ответ 4, реферат на тему
| Добавил(а) на сайт: Пайков.
Предыдущая страница реферата | 1 2 3 4 5
Рис. 14. Анизотропное (а) и изотропное (б) жидкостное травление эпитаксиального кремния.
Другой травитель для моно- и поликристаллического кремния состоит из этилендиамина и пирокатехина и имеет энергию активации 8 ккал/моль:
2NH2(CH2)2NH2+Si+3((OH)2 (
( 2H2+Si((O2)3+2NH2(CH2)3NH3 (36)
При добавлении к реагентам 1000 ppm (1 ppm=1часть на миллион)
ароматического пиразина достигалось увеличение энергии активации до 11
ккал/моль и селективности травления плоскостей (100) и (111) с 10 до 20.
Травление кремния применяется также с диагностическими целями для выявления
точечных проколов SiO2. Кремний, легированный бором, травится медленнее
нелегированного кремния.
[pic]
Рис. 15. Зависимость угла травления поликремния ( от содержания воды в
травителе KOH/спирт/Н2О.
Эффективность сглаживания поверхности поликремния в смеси KOH и спирта
зависит от содержания воды в травителе. В безводных спиртах получаются
изотропные профили. Степень анизотропии определяется содержанием воды в
травители (рис. 15). Изотропные травители для кремния перечислены в табл.
6. Краткие сведения об анизотропных травителях для кремния приведены в
табл. 7.
Таблица 5. Изотропное и анизотропное травление кремния.
| | | |
|Травитель |Скорость травления, |Подтравливание |
| |мкм/мин |(мкм/сторону)1) |
| |PS |ES |BS |PS |ES |BS |
|Изотропный2) |3 |4 |4 |1.5d |1.5d |1.5d |
|Изотропный3) |0.8 |0.6 |0.5 |1.0d |1.0d |1.0d |
|Анизотропный4) |0.7 |0.9 |1.1 |(0.1-1.|
Скачали данный реферат: Онисим, Kapralov, Amos, Dora, Капралов, Кичеев, Мариетта, Rjapolov.
Последние просмотренные рефераты на тему: ремонт реферат, отечественная история шпаргалки, реферат статус, возрождение реферат.
Категории:
Предыдущая страница реферата | 1 2 3 4 5
Главная