Министерство образования Российской Федерации

Нижегородский государственный технический университет

Дзержинский филиал

Факультет

Химико-механический

Кафедра

Автоматизация технологических процессов и производств

Магистерская диссертация

по теме:

Разработка сенсора на поверхностно-акустических волнах. Автоматизация измерительной установки.

Выполнил: магистрант гр. 95-АТПМ-1

Ермаков Е. С.

Зав. кафедрой АТПП: д.т.н., профессор

Сажин С.Г.

Научный руководитель: д.т.н., профессор

Сажин С.Г.

г. Дзержинск

2001 г.

Содержание

Содержание 2

Введение 3

Литературный обзор 5

Основные принципы конструирования ПАВ сенсоров 5
Некоторые задачи, решаемые ПАВ сенсорами 11

Конструкция экспериментальной ячейки 18

Описание приборов и материалов 21