РЕФЕРАТ

Дипломна робота: 43 сторінок, 12 малюнків, 1 таблиця, 6 джерел.

Об`єктом дослідження є поверхня металевих та напівпровідникових матеріалів за допомогою скануючого електронного мікроскопа.

Методикою досліджень являється реєстрація вторинних електронів та фотонів.

Результати досліджень можуть бути застосовані працівниками, які займаються дослідженнями в області напівпровідникових матеріалів.

RESUME

The graduation research “Using the Scanning Electron Microscopy for diagnostics of a surface of semiconductors ” – 2003, student Lyashenko O.A.
(DNU, physical faculty, gr. FP-98-1, department of optoelectronics) leader
Klimenko V.V.

The work is interesting for researchs the semiconductor researches.

Bibliography pages 43, Tables 1, Images 12.

Тема:
Изучение поверхности полупроводника с помощью сканирующего электронного микроскопа

Зміст.

Реферат

4
Resume

5
Вступ.

7

Розділ І. Літературний огляд

8
1. Одержання і керування потоком електронів

8
2. Електростатичні лінзи

10
3. Магнітні лінзи

14
4. Електронно-оптичні дослідження матеріалів

15
5. Звичайний просвітлюючий електронний мікроскоп 16

1. Електронна оптика

16

2. Зображення

18