Содержание

Содержание 1

1.ВВЕДЕНИЕ. 2

2.ОСНОВНАЯ ЧАСТЬ. 2
2.1 Что такое сканирующая зондовая микроскопия. 2
2.2 Современные методы исследований СЗМ. 5
2.2.1 Методики СТМ. 5
2.2.1.1 Объекты исследования. 6
2.2.1.2 Режимы работы СТМ. 7

Режим топографии (I=сопst). 7

Режим регистрации тока (Z=const). 7

Режим ошибки обратной связи (FВ-еrrоr). 8
2.2.2 Методики ССМ . 8
2.2.2.1 Контактный режим. 9

Силы, действующие между кантилевером и образцом 10
2.2.2.2 Топография поверхности (режим постоянной 11

силы)
2.2.2.3 Режим снятия изображения сил. 15
2.2.2.4 Режим регистрации ошибки обратной связи. 16
2.2.2.5 Измерение боковых сил. 16
2.2.3 Вибрационные и модуляционные методы

измерений. 17
2.2.3.1 СТМ-методы. 18

Режим измерения локальной высоты барьера. 18

Режим спектроскопии. 20
2.2.3.2 АСМ-методы: 20

Бесконтактный режим. 20

Полуконтактный режим. 22

Режим измерения жесткости. 23
2.2.4 Схема взаимодействия компонентов. 24
2.2.5 Схема регистрации отклонения кантилевера. 25

3. ЗАКЛЮЧЕНИЕ. 26

4. ЛИТЕРАТУРА. 27

1.Введение

Сканирующий Зондовый Микроскоп (СЗМ) - это прибор, дающий возможность исследования свойств поверхностей материалов от микронного до атомарного уровня. В СЗМ существует три способа исследования поверхностей:

. Сканирующая туннельная микроскопия (СТМ)

. Сканирующая силовая микроскопия (ССМ)

. Близкопольная сканирующая микроскопия (БСМ).

СТМ был изобретен сотрудниками швейцарского филиала фирмы IВМ учеными

Г.Биннигом и X. Рорером в 1981 г., а ССМ - Кэлвином Гвэйтом, Гердом

Биннигом и Кристофером Гербером, в 1986г. Эти технологии оказались революционными в развитии исследований свойств поверхностей и в 1985 изобретение СТМ было отмечено присуждением нобелевской премии по физике первооткрывателям - Г. Биннигу и X. Рореру.