Предыдущая страница реферата | 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  11 | Следующая страница реферата

3.1 Анализ основных состовляющих погрешности измерения перемещений.

     Физическими пределами,  ограничивающими точность  измерения,

являются погрешность измерения фазы интерференционного сигнала ??

и относительная погрешность длины волны лазера ???? .

     Дифференцируя выражение (2),  максимальную погрешность изме-

рения расстояния можно записать следующим образом:

                                     (6)

                                                     

     При измерении малых расстояний {ближней зоны }(L<<???2/(4???))     ?L определяется только погрешностью ??.  При измерении больших  расстояний

{дальней зоны}(L>>????2/(4???))      ?L  определяется  величиной ????.  В остальных случаях необходимо учитывать оба слагаемых в (6).

     Длина волны лазера в воздухе: ???вак/n, где ?вак - длина вол-

ны лазера в вакууме,  n - показатель преломления воздуха. Поэтому

погрешность длины волны содержит две составляющие:

                                        (7)

                                                   

где ??вак  - погрешность воспроизведения длины волны лазера в ва-

куме, ?n - погрешность измерения показателя преломления воздуха.

                                                  Таблица 1

?????	?????????????????????????????????????????			??n/n
	Лазер СО2	Лазер He-Ne	Лазерный диод
10-4	10-8	10-9	10-6	10-7

     В табл.  1 приведены минимальные значения погрешностей,

  достигнутые на практике в ЛИС .

     В 1990 г.  на международном симпозиуме "Измерение размеров в

процессе производства и контроля качества" для промышленного при-

менения ЛИС физическими пределами, ограничивающими точность изме-

рений, было принято считать: относительную погрешность длины вол-

Рекомендуем скачать другие рефераты по теме: реферат підприємство, реферати.





Предыдущая страница реферата | 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  11 | Следующая страница реферата