Жидкостное химическое травление
| Категория реферата: Рефераты по науке и технике
| Теги реферата: матершинные частушки, изложение 7 класс
| Добавил(а) на сайт: Arsenij.
Предыдущая страница реферата | 1 2 3 4 5
На одну пластину требуется 4.8Ч10-4 молей HF, следовательно, в нашей ванне с учетом 20%-ного падения скорости (это соответствует 3.2 молям HF) можно обработать 25000 подложек. Если производительность установки равна 500 пластин в день, то раствор в танке придется менять раз в 50 дней (если пренебречь потерями материала и загрязнениями).
Заключение.
Травление - критическая стадия литографического процесса. На этой стадии жестко
испытываются адгезия, непроницаемость, уровень дефектности и химическая инертность
резиста. Стойкость резиста к травлению и его адгезия к подложке являются, возможно,
наиболее важными параметрами резистного литографического процесса и в наибольшей
степени определяют его успех. Применение резиста с высокой стойкостью к травлению
гарантирует минимальное искажение изображения при переносе его в подложку. Практические
пределы применимости процесса ЖХТ определяются его разрешением -1.5-2.0 мкм
- и уходом размеров при травлении - ±0.2-0.5 мкм.
Список литературы.
Травление полупроводников [сборик статей]. Пер. с англ. С. Н. Горина. М.:
Мир, 1965.
Перри Дж. Справочник Инженера-химика/ Пер. с англ. - Т.2. - М.: Химия, 1969.
Полтавцев Ю. Г., Князев А. С. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике.
- Киев: Тэхника, 1990.
Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники.[Учеб. для
ПТУ: в 10 кн.]. - М: Высш. шк., 1989.
Авдеев Е. В., Колтищенков В. М., Пантелеева Т. С. Двумерное топологическое
модерирование травления//Электронная промышленность. - 1986.- №4.-С.14-17.
Голосов В. В. Электрохимическое травление GaAs. В сб.: Силовые п/п приборы.
- Талин : Валгус, 1981.
Васильева Н. А., Ерофеева И. Г. Электрохимическое полирование подложек GaAs//
Электронная промышленность. -1988.-№8.-С. 39-40.
Киреев В. А. Краткий курс физической химии. М.: Химия, 1978.
Скачали данный реферат: Ростов, Феогност, Ljubomir, Romanov, Chernomyrdin, Табернакулов.
Последние просмотренные рефераты на тему: 6 решебник виленкин, менеджмент, контрольные 1 класс, здоровый образ жизни реферат.
Категории:
Предыдущая страница реферата | 1 2 3 4 5
Главная