Государственный Комитет Российской Федерации по Высшему Образованию

Санкт-Петербургский

Государственный Электротехнический Университет «ЛЭТИ»

Кафедра Микроэлектроники

Реферат

«Гальванотехника и ее Применение в Микроэлектронике»

Студент: Чапчаев В.В.

Факультет: РТ

Уч.группа: № 2142

Преподаватель: Марголин В.И.

Санкт – Петербург

2 0 0 3

Содержание

|Введение ….………………………………………………………… |3 |
|Электрохимическая обработка металлов ………………. |3 |
| Электрохимическое обезжиривание …………………….. |4 |
| Электрохимическое травление ……………………………. |4 |
| Электрохимическое полирование ………………………… |5 |
| Электрохимическое осаждение …………………………… |6 |
|Нанесение на поверхность изделий металлических покрытий | |
|…………………………………………………………... |6 |
| Меднение ……………………………………………………….. |7 |
| Никелирование ………………………………………………… |8 |
| Оловынирование ……………………………………………… |8 |
| Серебрение ……………………………………………………… |8 |
|Оборудование для нанесения гальванических покрытий | |
|…………………………………………………………… |9 |
|Применение гальванотехники в микроэлектронике … |10 |
| Удаление загрязнений с поверхности подложек ……… |10 |
| Электрохимическое нанесение пленок ………………….. |13 |
|Изготовление печатных плат электрохимическим методом | |
|……………………………………………………………… |16 |
| Гальваническое меднение …………………………………… |17 |
| Гальванические покрытия …………………………………… |19 |
|Заключение …………………………………………………………. |22 |
|Список литературы ……………………………………………… |23 |

Введение

Гальванотехника - процесс получения на поверхности изделия или основы
(формы) слоев металлов из растворов их солей под действием постоянного электрического тока.

Электролитический или гальванический метод нанесения металлических покрытий был разработан в середине XIX века, но не сразу получил сколько- нибудь значительное промышленное применение – этому препятствовало отсутствие мощных источников постоянного тока.

Сущность метода заключается в погружении покрываемых изделий в водный раствор электролита, главным компонентом которого являются соли или другие растворимые соединения – металлопокрытия. Покрываемые изделия контактируют с отрицательным полюсом источника постоянного тока, т.е. являются катодами.
Анодами обычно служат пластины или прутки из того металла, которыми покрывают изделия. Они контактируют с положительным полюсом источника постоянного тока и при прохождении электрического тока растворяются, компенсируя убыль ионов, разряжающихся на покрываемых изделиях.

Наряду с электрохимическим методом катодного осаждения металлов широкое применение находят и анодные методы электрохимической обработки поверхности металлов. К ним следует отнести электрохимическое оксидирование, травление, полирование и др. Во всех анодных процессах происходит либо растворение металла, либо превращение поверхностного слоя металла в оксидный или другой слой.

Электрохимическая обработка металлов.

Электрохимическая обработка это ряд методов, предназначенных для придания обрабатываемой металлической детали определенной формы, заданных размеров или свойств поверхностного слоя.

Электрохимическая обработка осуществляется в электролизерах
(электролитических ваннах, электрохимических ячейках специальных станков, установок), где обрабатываемая деталь является либо анодом )анодная обработка), либо катодом (катодная обработка), либо тем и другим попеременно.

Электрохимическое обезжиривание.

Электрохимическое обезжиривание (процесс удаления жиров и масел с поверхности изделия) может происходить на катоде, на аноде и может быть комбинированным – на катоде с последующим кратковременным переключением на анод.

Процесс электрохимического обезжиривания на катоде заключается в омылении жиров гидроксильными ионами, концентрация которых у катода бывает повышенной благодаря выделению газообразного водорода, способствующего механическому отрыву капелек жиров и масел.