Оборудование для ориентации полупроводниковых пластин

| Категория реферата: Рефераты по технологии
| Теги реферата: реферати українською, ответы по русскому языку
| Добавил(а) на сайт: Judachjov.

Рис.4 Установка ориентировки пластин световым методом

Рис. 5 Угломерная головка для световой ориентации монокристаллов или пластин: 1 – кронштейн, 2 – гайка, 3 и 12 – ручки, 4 – указатель, 5 – лимб,
6 – специальный винт, 7 – червячное колесо, 8 – червяк, 9 – лампочка, 10 – подвижный диск , 11 – шкала.

Рис. 6 Оптическая система установки для световой ориентации пластин и монокристаллов: 1 – источник света, 2 – конденсор, 3 – сменная диафрагма,
4, 6, 7, 10 и 11 – зеркала, 5 – объектив, 8 – образец (монокристалл или пластина), 9 – матовый экран.

Таблица 2. Характеристика основных рентгеновских методов контроля.

Таблица 3. Углы отражения ? для основных кристаллографических плоскостей важнейших полупроводниковых материалов; CuK? ? 1,54 ангстрем

Рис. 7. Схема рентгеновского метода ориентации: 1 – рентгеновская трубка; 2
– падающий луч; 3 – отраженный луч; 4 – счетчик Гейгера.

Рис. 12. Эпиграмма слитка германия.

Рис. 11. Ориентировка слитков по изломам.

Рис. 13. Схема построения стереографической проекции.
1 – падающий луч; 2 – рентгеновская пленка; 3 – отраженный луч; 4 – ориентируемый слиток.

Рис. 8. Рентгеновский аппарат типа УРС-50И

Рис.9. Блок-схема рентгеновского аппарата УРС-50И:
ЛВ – ламповый вольтметр, ВП – внешний прибор, ЭПП-09 – самопишущий потенциометр, ЭМС – электромеханический счетчик, ВМ1 – входной мультивибратор и усилитель импульсов, 1ПК, 2ПК, 3ПК, 4ПК, 5ПК, 6ПК – пересчетные каскады, ВМ2 – выходной мультивибратор, РВ – реле времени, ЗГ – звуковой генератор, ИО – исследуемый образец, ГУ – генераторное устройство,
САТ – стабилизатор анодного тока, СН-1 – стабилизатор напряжения, ГУР-3 – гониометрическое устройство, МСТР-4 – счетчик квантов (Гейгера), ВВ – высоковольтный выпрямитель, ОИ – ограничитель импульсов, НИ – нормализатор импульсов, ИС – интегрирующая схема, РЖ – усилитель импульсов.

Рис. 10. Приставка к рентгеновскому аппарату УРС-50И для ориентирования монокристаллов: а) головка, б) схема электрического блока; 1 – сельсин-приемник, 2 – обойма, 3 – червячный редуктор, 4 – основание, 5 – трехкулачковый патрон, 6
– угольник.