Безкорпусная герметизация полупроводниковых приборов
| Категория реферата: Рефераты по технологии
| Теги реферата: доклад по биологии, реферат по математиці
| Добавил(а) на сайт: Ivannikov.
Предыдущая страница реферата | 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 | Следующая страница реферата
Крмпаун-д К-168—продукт модификации смолы ЭД.6 полиэфиром МГФ-9
Электрофизические параметры такие же, как у компаунда К-115 Обладает повышенной- по сравнению с ним теплостойкостью. Применяется с наполнителем и без него.
Компаунд К-176 — вязкая жидкость от светло-желтого до светло-коричневого
цвета, которая включает в себя 100 ч. смолы ЭД-5 и 20 ч. диоктилфталата.
Содержит 3% летучих соединений. Обладает самой высокой теплостойкостью
среди компаундов этой группы.
Компаунды типа Д (Д-2, Д-4, Д-19) — вязкие жидкости. Применяются для
заливки и обволакивания конструкций электронной техники. Состоят из 100 ч
смолы ЭД-6, от 2 до 10 ч. от-вердителя и от 5 до 200 ч. наполнителя.
Рабочая температура от —60 до +80°С. Предел прочности при изгибе (0,98—1,6)
-108 Н/м2, а при сжатии (1,06—1,9)-108 Н/м2. Удельная вязкость в пределах
(0,6—2,5) • 106 Н/м2. Тангенс угла диэлектрических потерь на частоте 106 Гц
при температуре 20° С равен 0,02, а диэлектрическая проницаемость равна 4.
Компаунд ЭЗК-11 состоит из 100 ч смолы ЭД-6, 12 ч. отвердителя, 18 ч
касторового масла, 12 ч. бутилметакрилата, 150 ч. кварца, 150 ч. талька.
Удельное объемное электрическое сопротивление при 20° С равно 1014 Ом-см, а
при 80°С—1013 Ом-см. Тангенс угла диэлектрических потерь на частоте 106 Гц
при 20° С равен 0,001, а при 80° С—0,03. Диэлектрическая проницаемость при
тех же условиях соответственно равна 4,1 и 4,6. Время отверждения при 80° С
равно 1 ч, при 100° С—2 ч, а при 140° С—3 ч.
Компаунд ЭЗК-12 состоит из 100 ч эпоксидной смолы ЭД-5, 10 ч.
отвердителя, 10 ч. стирола и 100 ч двуокиси титана. Удельное объемное
сопротивление при 20° С равно 1014 Ом-см, а при 100° С—109 Ом-см. Тангенс
угла диэлектрических потерь на частоте 106 Гц при 20° С равен 0,02, а при
100° С—0,05. Диэлектрическая проницаемость при тех же условиях
соответственно равна 9 и 12. Время отверждения при 60—80° С равно 8—12 ч.
Компаунд К-153 (эпоксидно-тиоколевый) — однородная жидкость от светло-
до темно-бурого цвета, обладает повышенной эластичностью и хорошей
морозостойкостью. В состав компаунда входят эпоксидная смола ЭД-5, тиокол и
полиэфир МГФ-9. Для отверждения рекомендуется выбирать один из следующих
режимов: 8 ч при 18—20° С и 6—8 ч при 80° С; 8 ч при 18—20° С, 2 ч при
75—80° С и 6 ч при 100° С; 8 ч при 18—20° С и 3 ч при 120° С. В некоторых
случаях отверждение проводят при комнатной температуре в течение 3 суток.
Отвержденный компаунд имеет предел прочности при изгибе (0,8—1)-108. Н/м2,
-при растяжении—' (4—5) • 107 Н/м2, а при сжатии— (1—1,2) • 108 Н/м2
Относительное удлинение при разрыве составляет от 3 до 5%. За 24 ч
впитывает 0,08% влаги, за 30 суток—0,3%. После пребывания в ацетоне в
течение 24 ч увеличивает массу на 2%. Удельное объемное электрическое
сопротивление равно 1014 Ом-см. Тангенс угла диэлектрических потерь на
частоте 106 Гц при 20° С равен 0,03, а диэлектрическая проницаемость равна
4. Электрическая прочность при толщине образца 2 мм равна 20 кВ/мм.
_ Компаунд К-139—продукт модификации смолы ЭД-5 полиэфиром МГФ-9 и
парбоксилатным каучуком Т: КА-26. Применяется
для герметизации деталей электронной аппаратуры и приборов Жизнеспособность
компаунда после приготовления не превышает 2 ч Скорость полимеризации при
температуре 140° С равна 30—50 с Отверждение можно проводить по одному из
следующих режимов: 48 ч—при 20° С; 6 ч—при 20° С, 2 ч—при 80° С и 6 ч— при
100° С; 6 ч—при 20° С и 8—10 ч—при 60—80° С Предел прочности при изгибе
(5—6)-107 Н/м2, при растяжении (4—6) • 107 Н/м2. Относительное удлинение
при разрыве 8% Температура стеклования 75° С Удельное электрическое
сопротивление при 20° С равно 1014 Ом-см Тангенс угла диэлектрических
потерь на частоте 106 Гц при 20° С равен 0,04, а диэлектрическая
проницаемость равна 4,5
Пресс-материал ЭКП-200 — эпоксикремнийорганический пресспорошок черного цвета с дисперсностью 0,5 мм на основе эпоксидной смолы ЭД-6, отвердителей и минерального наполнителя применяется для герметизации изделий электронной техники, а также для изготовления деталей радиоэлектронной аппаратуры, рассчитанных на эксплуатацию в диапазоне температур от —60 до +200° С в течение 1000 ч Время желатинизации при 160° С равно 1—2 мин Тангенс угла диэлектрических потерь на частоте 106 Гц равен 0,03, а диэлектрическая проницаемость равна 5 Удельное электрическое сопротивление при 20° С равно
1014 Ом-см, а после пребывания в атмосфере с 98% влажности при температуре
40°С в течение 30 сут—1013 Ом-см Электрическая прочность при нормальных условиях и после пребывания во влажной'атмосфере 20 кВ/мм Усадка не превышает 0,5% Плотность 1,7—1,9 г/см3 Коэффициент линейного расширения
30-10-6 /°С Водопоглощение 0,5% Время отверждения при 160° С равно 4—5 мин на 1 мм толщины образца
Эпоксидные формовочные порошки ЭФП — пресспорошки на основе эпоксидной смолы ЭД-6, отвердителя и минеральных наполнителей, выпускаемые пяти марок
ЭФП-60, ЭФП-61, ЭФП-62, ЭФП-64 (черные) и ЭФП-65 (красно оранжевый) и применяемые для герметизации и изготовления деталей радиоэлектронной аппаратуры Дисперсность порошков всех марок 0,5 мм Время желирования при температуре 150° С от 40 до 120 с Жизнеспособность при температуре хранения
25° С равна 1,5 ч Тангенс угла диэлектрических потерь на частоте 106 Гц равен 0,03 Диэлектрическая проницаемость 6 Удельное объемное и поверхностное сопротивление 1014 Ом-см Электрическая прочность 20 кВ/мм
Предел прочности при статическом изгибе составляет: для ЭФП-60—6-Ю7 Н/м2, для ЭФП-61—7-107 Н/м2, для ЭФП-62—9-Ю7 Н/м2, а для ЭФП-64 и ЭФП-65—7-Ю7
Н/м2. Коэффициент линейного расширения до ЭФП-60, ЭФП-62 и ЭФП-65 равен (32-
38) • Ю-6 1/°С, для ЭФП-61 — (28-32) X Х10-6 17° С, а для ЭФП-64—(22—25) •
10-6 1/°С.'Усадка материала всех марок не превышает 0,5% Плотность изменяется от 1,7 г/см3 для ЭФП-60 до 2,2 г/см3 для ЭФП-65 Время отвержде-
ния всех порошков при 150° С равно 3—4 мин при толщине образ-| ца 1 мм
Компаунд ЭК.БТ-103—прозрачная однородная жидкость светло-желтого цвета, получаемая смешиванием эпоксидной смолы ЭД-5 с отвердителем и ускорителем
полимеризации. Применяется для защиты источников излучения, работающих в
инфракрасной и видимой областях спектра, а также герметизации
полупроводниковых приборов. Не теряет своих свойств при использовании в
условиях пониженных (—60° С) и повышенных (+120° С) температур. Показатель
преломления при 20° С равен 1,55. Жизнеспособность 10—12 ч. Тангенс угла
диэлектрических потерь на частоте 106 Гц при 20° С равен 0,05.
Диэлектрическая проницаемость 5. Удельное объемное сопротивление при 20° С
равно 1014 Ом-см, электрическая прочность 20 кВ/мм. Теплостойкость 90° С.
Водопроницаемость за 24 ч не превышает 1%.
Компаунд БЭТА-1—однородная жидкость светло-желтого цвета, получаемая
смешиванием эпоксидной смолы ЭД-5, отвер-дителя и ускорителя полимеризации.
Применяется для герметизации полупроводниковых источников излучения в
инфракрасной и видимой области спектра, а также для изготовления корпусов
различных полупроводниковых приборов. Стоек в интервале температур от —60
до +100° С. Показатель преломления 1,55. Жизнеспособность 24 ч. Тангенс
угла диэлектрических потерь на частоте 106 Гц при 20° С равен 0,05.
Диэлектрическая проницаемость 5. Удельное объемное сопротивление 2-Ю9 Ом-
см. Водопоглоще-ние в течение суток не превышает 1%.
Компаунд КЖ-25 — вязкая однородная жидкость ярко-красного цвета, получаемая
смешиванием эпоксидной смолы ЭД-5, отвердителя, наполнителя и ускорителя
полимеризации. Применяется для герметизации германиевых полупроводниковых
приборов, работающих в интервале температур от —60 до +70° С.
Жизнеспособность 10—12 ч. Тангенс угла диэлектрических потерь на частоте
106 Гц при 20° С равен 0,02. Диэлектрическая проницаемость 4. Удельное
объемное сопротивление при 20° С равно
1014 Ом-см. Электрическая прочность 20 кВ/мм. Усадка при полимеризации не
превышает 1 %.
Компаунд ЭКМ—вязкая жидкость кирпично-красного цвета. Применяется для
герметизации полупроводниковых диодов и транзисторов. Диапазон рабочих
температур от—60 до +120° С. Усадка после отверждения не превышает 0,9%.
Жизнеспособность 4 ч. Предел прочности на разрыв 7,4-Ю7 Н/м2. КТР равен 47-
Ю-6 1/°С. Тангенс угла диэлектрических потерь на частоте 106 Гц при 20° С
равен 2,5-10~2. Диэлектрическая проницаемость 4,5. Удельное объемное
сопротивление при 20° С равно
1015 Ом-см. Электрическая прочность 35 кВ/мм.
Компаунд ЭЦД—вязкая жидкость черного цвета. Диапазон рабочих температур
от —60 до +150° С. Усадка после затвердевания 0,7%. Жизнеспособность 48 ч.
Предел прочности на разрыв 7,3-Ю7 Н/м2. Тангенс угла диэлектрических потерь
на частоте
Ю9 Гц при 20°С равен 1,5-Ю-2. Диэлектрическая проницаемость 2,5. Удельное
объемное сопротивление при 20°С равно 1015 Ом-см. Электрическая прочность
20 кВ/мм.
Компаунд К-18—вязкотекучий материал от белого до темно-серого цвета.
Применяется для герметизации полупроводниковых приборов и интегральных
микросхем, работающих в атмосфере с повышенной влажностью в интервале
температур от —60 до +250° С. Жизнеспособность 6 ч. Содержание летучих
примесей при температуре 150° С не превышает 1,5%. Относительное удлинение
при разрыве 80%. Удельное объемное сопротивление при 20°С и относительной
влажности 65% равно 1013 Ом-см. Тангенс угла диэлектрических потерь на
частоте 105 Гц равен 0,02, а диэлектрическая проницаемость на той же
частоте равна 3. Электрическая прочность 15 кВ/мм.
Компаунд К-25 — вязкая жидкость от серого до черного цвета, получаемая
смешиванием смолы СК-25,1 наполнителя (стекло—кристаллического цемента
марки СЦ-90-1), красителя (нигрозина) и отвердителя (полиамидной смолы Л-
20). Применяется для защиты и герметизации полупроводниковых приборов, работающих в интервале температур от —60 до +150°. Жизнеспособность при
20°С не более 2 ч. Тангенс угла диэлектрических потерь при 20°С и частоте
Ю6 Гц равен 0,015. Диэлектрическая проницаемость 4,5. Удельное
объемное сопротивление 1,5-Ю12 Ом-см. Для приготовления компаунда берут
100 мае ч смолы СК-25, 100—200 мае. ч. стеклокристаллического цемента, 2
мае. ч нигрозина и 50—60 мае. ч. смолы Л-20.
Компаунд К-26—вязкая жидкость красного цвета, получаемая смешиванием смолы
ЭД-20, красителя, разбавителя (гли-цидилового эфира) и отвердителя
(полиамидной смолы Л-20). Применяется для герметизации цифрознаковых
индикаторов, работающих в интервале температур от —60 до +125° С.
Жизнеспособность не более 2 ч. Тангенс угла диэлектрических потерь при 20°С
и частоте Ю6 Гц равен 0,03, а диэлектрическая проницаемость при тех же
условиях равна 5. Удельное объемное сопротивление при 20°С равно 8-Ю14 Ом-
см. Водопоглощение не превышает 0,5%. Разрушающее напряжение дри растяжении
2,5-Ю7 Н/м2. Для приготовления компаунда берут 100 мае. ч смолы ЭД-20, 20
мае ч. глицидилового эфира, 50 мае. ч. полиамидной смолы Л-20 и 0,5 мае ч.
красителя.
Пресс-материал ЭФП-63—порошок темно-серого цвета, композиция на основе
эпоксидной смолы, минеральных наполнителей, отвердителя и красителя.
Применяется для герметизации полупроводниковых приборов и гибридных
интегральных микросхем. Тангенс угла диэлектрических потерь на частоте Ю6
Гц равен 0,03, а диэлекгрическая проницаемость на той же частоте равна 5
Удельное объемное сопротивление Ю14 Ом-см. Электрическая прочность 20
кВ/мм. Разрушающее напряжение при статическом изгибе 9-Ю'' Н/м2. КТР в
интервале температур от 20 до 125° С равен 25-Ю-6 1/°С. Усадка 0,6%.
Компаунд ЭКБТ-103—прозрачная однородная жидкость светло-желтого цвета, композиция на основе эпоксидной смолы ЭД-22 с отвердителем и ускорителем.
Применяется для защиты и герметизации полупроводниковых источников света в
инфракрасной и видимой областях спектра и обеспечивает работу приборов в
диапазоне температур от —60 до +120° С. Показатель преломления при 20° С
равен 1,55 Тангенс угла диэлектрических потерь при частоте 106 Гц равен
0,05, а диэлектрическая проницаемость на той же частоте равна 5. Удельное
объемное сопротивление 1014 Ом-см. Электрическая прочность 20 кВ/мм.
Прозрачность в исходном состоянии не менее 88%, а после обработки при
температуре 120° С в течение 30 сут^-85%. Водопоглощение не более 1%. Для
приготовления компаунда берут 100 мае. ч. смолы ЭД-22, 10 мае. ч.
отвердителя (трибутилбората) и 1 мае ч. ускорителя (марки '606/2).
Компаунд Л-1—композиция на основе эпоксидной смолы ЭД-24, смолы «Оксилин-
5», отвердителя (МТГФА) и ускорителя (диметилбензиламина). Применяется для герметизации цифро-знаковых индикаторов. Для получения герметизирующего состава красного или зеленого цвета в состав вводят смолу «Оксилин-5» соответс'пвуюйцего цвета. Для приготовления компаунда берут 40 мае. ч. смолы ЭД-24, 60 мае. ч. смолы «Оксилин-5», 37 мае ч. отвердителя и 1 мае. ч.ускорителя.
Компаунды ОП-3 и ОП-ЗМ (О—оптический, П—прозрачный, 3—номер компаунда,
М—модифицированный) применяются для заливки элементов оптоэлектронных приборов. Компаунды—прозрачные жидкости: ОП-3—бесцветная или слабого желтого цвета, а ОП-ЗМ—желтого, зеленого, красного и рубинового цветов.
Время желирования при температуре 120° С не более 10 мин. Показатель преломления 1,48. Вязкость компаундов лежит соответственно в Пределах от
150 до 500 и от 1500 до 6000 сСт. Светопропускание при толщине 0,8—1 мм и
20° С от 65 до 85%. Тангенс угла диэлектрических потерь при 20° С и частоте 106 Гц равен 0,03, а диэлектрическая проницаемость при тех же условиях равна 5 Удельное объемное сопротивление при 20° С равно 1014 Ом- см Разрушающее напряжение при растяжении лежит в пределах от 1.5-Ю7 до 2,5-
Ю7 Н/м2. Водопоглощение за 24 ч не превышает 0,5%. КТР равен 8-Ю-5 1/°С.
Компаунд ОП-6—прозрачная жидкость желтоватого или красного цвета.
Применяется для герметизации оптоэлектронных приборов, работающих при температурах от —60 до +125° С. Приготовляется на основе эпоксидной смолы и отвердителя ангидридного типа. Время желирования при температуре 120° С равно 30 мин Прозрачность при длине волны 0,7—1 мкм и температуре 20° С не менее 85%. Водопоглощение за 24 ч не более 0,3%.
Компаунд ОП-429/1—вязкая, бесцветная, прозрачная жид-' кость. Применяется для защиты и герметизации цифрознаковых индикаторов и оптронов, работающих при температурах от —60 до +125° С. Время желирования 1 ч. Показатель преломления при
20° С равен 1,53. Светопропускание при толщине 1 мм и 20° С в инфракрасной
и видимой области спектра не менее 85%. Тангенс угла диэлектрических потерь
при 20° С и частоте Ю6 Гц равен 0,03, а диэлектрическая проницаемость при
тех же условиях равна 3,8 Удельное объемное сопротивление при 20° С равно
1013 Ом-см. Водопоглощение в холодной воде за 24 ч. не превышает 0,1%.
Разрушающее напряжение при растяжении равно 4,5-Ю7 Н/м2. Выдерживает в
течение 5 мин температуру 240° С.
Компаунд ОП-429/2 — вязкая жидкость белого цвета. Применяется для
герметизации и защиты полупроводниковых приборов. Отличается от компаунда
ОП-429/1 меньшим водопоглощением.
Защита поверхности p-n-переходов вазелином и цеолитами.
При сборке полупроводниковых кристаллов с p-n-переходами в корпуса
используют метод стабилизации параметров введением в корпус прибора
кремнийорганического вазелина в сочетании с влагопоглощающими добавками
(гетерами), например с цеолитом. Изоляционный вазелин представляет собой
смесь кремнийорганической жидкости с мелкодисперсным наполнителем в виде
вязкой пасты. Широкое применение получили кремнийорганические вазелины КВ-
3, КВ-2, КВ-3А.
Вазелин обладает высокими изоляционными свойствами: удельное объемное
сопротивление вазелина при температуре 200С составляет 1014ом*, а при 1500-
1012ом*см; тангенс угла диэлектрических потерь при частоте 106 гц-0,006;
диэлектрическая проницаемость-2,8, а диэлектрическая прочность-15 кВ мм.
Перед нанесением на полупроводниковые кристаллы или корпуса вазелин
подвергают вакуумной сушке при температуре 1500С в течение 8-10 ч.
Технологический процесс нанесение вазелина проводиться в скафандрах в
атмосфере осушенного азота.
Так же герметизацию производят цеолитным адсорбентом и синтетическими цеолитами:
Цеолитный адсорбент — порошкообразный синтетический цеолитный материал CaA, применяемый для создания защитной атмосферы во внутренних областях корпусов полупроводниковых приборов, выпускается двух видов: мелкокристаллический с размерами кристаллов от 1 до 5 мкм и крупнокристаллический с размерами кристаллов от 3 до 8 мкм. Статическая активность – влогоёмкость при относительной влажности воздуха 0,03% в течение 24 ч равна 18%. На основе порошка изготовляют таблетки диаметром 4 и 6 мм и толщиной 0,6 мм.
Синтетические цеолиты — высокоэффективные алюмосиликатные
адсорбенты; в обезвоженном виде – пористые кристаллы с размерами около 1
мкм. Поры цеолитов представляют собой сферические полости с диаметром от
1,14 до 1,19 нм, соединённые между собой более узкими отверстиями , называемые окнами . Эффективные диаметры окон существенно отличаются в
каждом типе цеолита и зависят от природы ионообменного катиона. Выпускаются
пять марок цеолитав: КА, NaA, CaA, NaX и CaX, в которых эффективный
диаметр окон соответственно равен 0,3;0,4;0,5;0,8;0,9 нм. Находящиеся в
полостях цеолитов катионы создают в них области с неоднородными
электростатическими полями, поэтому цеолиты особенно энергично адсорбируют электрически несимметричные молекулы воды, двуокиси углерода, метанола, а
так же органических веществ.
Особенностью адсорбционных свойств пористых кристаллов цеолитов является молекулярно-ситовое действие; в первичной пористой структуре адсорбируются молекулы малых размеров, более крупные молекулы, для которых входы в полости через окна недоступны, не адсорбируются. Поэтому при использовании цеолитов необходимо учитывать органические адсорбируемости веществ за счёт молекулярно-ситового действия.
Кристаллы цеолитов микроскопических размеров в смеси с добавками
15–20% глины формируют в таблетки, гранулы или шарики различных размеров, которые для повышения механической прочности подвергают термической
обработке в течение 2-6 часов при 550-600 С. Адсорбционные свойства
формованных цеолитов по сравнению с кристаллическими обычно ниже на 20% в
результате введения глины. Формованные цеолиты применяются для глубокой
осушки и тонкой очистки газов и жидкостей. Основные свойства цеолитов
приведены в таблице №1!
|Характеристика |Марка цеолита |
| |KA |NaK |CaA |NaX |CaX |
|Насыпная масса, г/см2 |0,62 |0,65 |0,65 |0,6 |0,6 |
|Механическая прочность на |4(106|5(106|5(106|4(106|4(106|
|раздавливание, Н/м2 | | | | | |
|Водостойкость, мас. % |96 |96 |96 |96 |96 |
|Динамическая активность по парам | | | | | |
|воды, мг/см3, для таблеток | | | | | |
|диаметров, мм: | | | | | |
|4,5 |62 |90 |72 |95 |90 |
|3,6 |70 |10 |80 |100 |95 |
|2,0 |85 |12 |95 |105 |100 |
|Динамическая активность по |2,0 |— |— |— |— |
|углекислому газу, мг/см3 | | | | | |
|Динамическая активность по парам | | | | | |
|бензола, мг/см3, для таблеток | | | | | |
|диаметром, мм: | | | | | |
|4,5 |— |— |— |52 |52 |
|3,6 |— |— |— |65 |62 |
|2,0 |— |— |— |68 |65 |
|Потери при прокаливании, мас. % |5 |5 |5 |5 |5 |
Защита p-n-переходов плёнками окислов металлов.
В полупроводниковой технологии для защиты кристаллов с p-n-переходами применяются плёнки на основе окисей металлов: алюминия, титана, бериллия, циркония. Исходный материал берут в виде порошка, а в качестве несущего
агента может быть использован галоген или галоидное соединение водорода.
Через рабочую камеру пропускают инертный газ и устанавливают перепад
температур между источником защитного материала и полупроводниковым
кристаллом. Температура источника должна быть выше температуры кристаллов, причём с увеличением разницы температуры скорость реакции повышается.
Для осаждения защитных плёнок Al203, BeO, TiO2, ZnO2 температуру
источника выбирают в диапазоне 800–1200 С, кристаллов – в диапазоне
400–800 С, а расстояние между ними устанавливается в зависимости от
требуемой разницы температур (от 10 до 15 см) В таблице 2! приведены режимы
осаждения защитных плёнок окислов металлов.
Таблица 2
|Материал источника |Несущий агент |Температура|Температура|
| | |источника, |кристаллов,|
| | |0С |0С |
|Al2O3 |HCl(HBr) |800–1000 |400–700 |
|BeO |HCl(HBr) |900–1200 |500–750 |
|TiO2 |HCl(HBr,Cl2) |800–1000 |500–700 |
|ZnO2 |HCl(HBr) |1000–1200 |500–800 |
Процесс осаждения защитной плёнки на полупроводниковые кристаллы с p-
n-переходами проводят в кварцевой трубе, в одном конце которого помещают
материал источника, например Al2O3 , а в другом – подложку с кристаллами.
Сначала в трубе создают вакуум, а потом вводят необходимое количество
инертного газа. Труба имеет две температурные зоны: 900 С – для источника,
500 С – для кристаллов.
В качестве защитного материала можно использовать также свинцовый
сурик Pb3O4, растворенный в смеси из 7,5% полиэтилена и 92%полибутилена и
перемещённый при температуре 125–160 0С. Полученный состав при температуре
112 С наносят на поверхность кристаллов с p-n-переходами. В качестве
окисляющего агента используют хромат цинка ZnCrO4. Кроме того, защитные
плёнки могут быть получены на основе смесей Pb3O4 и ZnCrO4, SrCrO4 .
Порошок этих веществ смешивают с летучими растворителями получают
суспензии, которые наносят на поверхность полупроводниковых кристаллов
распылением. Кристаллы с напылённым защитным слоем выдерживают в течение
нескольких минут при комнатной температуре до полного испарения
растворителя, а затем нагревают до 200 С. В результате нагревания частицы
нанесённого вещества выделяют ионы кислорода, которые замещают ионы
водорода на поверхности полупроводникового материала, и на поверхности
кристаллов образуется плотная защитная плёнка. Этот способ защиты позволяет
снизить обратные токи приборов на один-два порядка.
Рекомендуем скачать другие рефераты по теме: архитектура реферат, проблема дипломной работы, физика и техника.
Категории:
Предыдущая страница реферата | 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 | Следующая страница реферата