МОСКОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ИНСТИТУТ

СТАЛИ И СПЛАВОВ

(ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ)

РЕФЕРАТ

Ионный источник Кауфмана

Студент:

Преподаватель: .

Научный руководитель:

Москва 1999

СОДЕРЖАНИЕ

ВВЕДЕНИЕ 3

1. Oсновные параметры плазменных ионных источников 4

2. принцип действия и основные эксплуатационные особенности источника
Кауфмана 7

3. Модификации источника Кауфмана и тенденции его развития 12

4. Применение ионных источников в технологии 13

заключение 16

СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ 18

ВВЕДЕНИЕ

Ионные источники – устройства для получения направленных потоков ионов. Ионные источники применяются в ускорителях, масс-спектрометрах, ионных микроскопах, установках разделения изотопов, ионных ракетных двигателях. Быстро расширяющаяся область технологических применений источников ионов - это оборудование ионно-лучевой обработки материалов
(операции финишной очистки поверхности ИС, имплантации, распыление металлических и диэлектрических материалов, травление микроструктур и т.д.
)

Существует несколько способов генерации ионных пучков: генерация ионных пучков путем бомбардировки поверхности твердого тела потоком атомов
(поверхностная ионизация), исследовательских установках применяют источники с ионизацией атомов на разогретой поверхности твердых тел и т.д.

Однако, наиболее перспективный способ генерации ионных потоков основан на извлечении ионов из плазмы. Газоразрядная плазма является эффективным эмиттером свободных ионов. Следует отметить, что именно плазменные ионные источники нашли широкое применение в различных областях научных исследований и в современном технологическом промышленном оборудовании.

В настоящей работе рассмотрен плазменный ионный источник - источник
Кауфмана, применяемый в технологии микроэлектроники и имеющий широкие перспективы развития. В первой главе рассмотрены основные параметры ионных источников. Далее рассмотрен конкретно источник Кауфмана и применение ионных источников в технологии микроэлектроники.

1. Oсновные параметры плазменных ионных источников

Основными конструктивными элементами плазменных источников ионов являются: разрядная камера;

катодный узел;