Предыдущая страница реферата | 5  6  7  8  9  10  11  12  13  14  15 | Следующая страница реферата

5

6

б)

а)

Травитель

Свет

Si

3

2

1

Рис 11. Основные этапы фотолитографии по кремнию.

а) – процесс засветки фоторезиста (2) через фотошаблон (1); б) – травление оксидной пленки (3) через «окно» в проявленном и задубленном фоторезисте; в) – пластина после удаления фоторезиста.

n

а)

б)

в)

г)

р

р+

р

р

n

n+

n

n

Рекомендуем скачать другие рефераты по теме: список рефератов, зимнее сочинение, картинки реферат.





Предыдущая страница реферата | 5  6  7  8  9  10  11  12  13  14  15 | Следующая страница реферата