Печатные платы
| Категория реферата: Рефераты по технологии
| Теги реферата: bestreferat, дипломная работа на тему бесплатно
| Добавил(а) на сайт: Кашканов.
Предыдущая страница реферата | 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 | Следующая страница реферата
[pic]
[pic]
[pic]
3…25 мкм
Рис 16 Схема изготовления эпитаксиально-планарной биполярной ИМС с помощбю разделительной диффузии.
а) – термическое оксидирование и первая фотолитография; б) – локальная диффузия; в) – эпитаксия; г) – термическое оксидирование и вторая фотолитография; д) – разделительная диффузия; е) – формирование базовых областей; ж) – формирование эмиттерных и приконтактных областей коллекторов; з) – формирование металлизации.
з)
в)
ж)
Рис 18 Схема изготовления изолированных карманов биполярной ИМС с применением поликристаллического кремния (эпик-процесс).
а) – эпитаксия; б) – термическое оксидирование и фотолитография; в) – локальное травление; г) – удаление SiO2 –маск, осаждение SiO2 –пленки; д) – выращивание поликристаллического кремния; е) – шлифовка со стороны исходной пластины.
е)
б)
д)
а)
в)
б)
(
Рис 17 Схема изготовления биполярной ИМС с помощью коллекторной изолирующей диффузии.
а) – исходная эпитаксиальная структура; б) – коллекторная изолирующая диффузия; в) – базовая p+ -диффузия; г) – формирование эмиттеров и металлизации.
а)
г)
[pic]
[pic]
[pic]
[pic]
Рекомендуем скачать другие рефераты по теме: список рефератов, зимнее сочинение, картинки реферат.
Категории:
Предыдущая страница реферата | 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 | Следующая страница реферата
Главная