Предыдущая страница реферата | 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10 | Следующая страница реферата



Защита пластин фоторезистом.

33. Контроль ВАХ (пробивное напряжение, пороговое напряжение, прямое напряжение и др.).

34. Контроль электрических параметров.

35. Контроль внешнего вида.

ОПЕРАЦИЯ СПЕЦОКИСЛЕНИЕ

Оборудование.

система диффузионная (см табл. 1)

стол монтажный СМ-4 А2МО 238 001 ТУ

реактор кварцевый Æ 07-0397

реактор кварцевый Æ 07-0541

крючок кварцевый Æ 09-1067

лодочка кварцевая Æ 09-1216

подставка Æ 09-1215

стаканчик СВ24/70 ГОСТ 25 336-82

пинцет ПС 160х3.0 ТУ 64-1-37-78

пинцет Æ 09-1114

часы электрические вторичные показывающие ВЧС2-М2ПВ-400-323К ТУ 25-67-1503-82

пластина кремния 7590592 10300 00022

пластина кремния спутник 7590592 10300 00022

водород хлористый сжиженный марки Э ТУ 6-01-4689387-42-90

спирт этиловый ректификованный технический марки “Экстра” ГОСТ 18300-87

кислород СТП ТВО 054 003-89

азот СТП ТВО 054 003-89

напальчники типа II вида Б№4 ТУ 38.106567-88

салфетка из мадаполама (350х253) мм 7590592 10301 00043

салфетка из батиста (150х150) мм 7590592 10301 00045

пленка полиэтиленовая марки На, полотно, 0,040х1400, I сорт ГОСТ 10354-82

Подготовка рабочего места и организация трудового процесса.

1.1 Подготовку рабочего места и организацию трудового процесса проводить в соответствии с требованиями табл. 1.

1.2 Технологическую операцию осуществлять с соблюдением требований

ТВО 045 954 ИОТ, 17.25351.00003 ИОТ, ТВО 045 829 ИОТ, ТВО 045 982 ИОТ.

1.3 Соблюдать требования производственной гигиены по СТП 17-001-90.

1.4 Параметры микроклимата должны соответствовать СТП 17-001-90:

(1000,10000; 22± 2; 50± 10).

1.5 Время межоперационного хранения пластин должно соответствовать требованиям СТП 17-097-88.

1.6 Проверить наличие вытяжной вентиляции на системе диффузионной, в специальном шкафу для хранения баллона перед началом работы с хлористым водородом. Производить работу с хлористым водородом при выключенной вентиляции запрещается. При отключении вентиляции немедленно закрыть вентиль на баллоне с хлористым водородом.

1.7 Продуть кварцевый реактор, оснастку хлористым водородом с расходом(10-15) л/час не менее 30 минут:

1) вначале первой смены;

2) после смены оснастки, трубы;

3) замены баллона с хлористым водородом;

4) если время между процессами превышает 24 часа, с последующей продувкой азотом не менее 10 минут с расходом согласно таблице 2.

1.7.1 Перед включением хлористого водорода продуть линию подачи магистральным азотом не менее 10 минут с расходом согласно таблице 2.

1.7.1.1 Включить подачу азота, регулируя расход натекателем на ротаметре.

1.7.1.2 Открыть вентиль подачи азота на линию хлористого водорода (вентиль с маркировкой “N2”).

1.7.1.3 Открыть вентиль с маркировкой, установить расход (10-15) л/час натекателем на ротаметре. Регулировать давление в магистрали при необходимости редуктором низкого давления .

Рекомендуем скачать другие рефераты по теме: научные текст, реферат на тему отношения.

Предыдущая страница реферата | 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10 | Следующая страница реферата