Предыдущая страница реферата | 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10 | Следующая страница реферата



1.7.1.4 Выключить продувку азотом, перекрыть вентиль с маркировкой “N2”.

1.7.2 Выставить необходимый расход кислорода согласно табл. 2.

1.7.3 Открыть в вытяжном шкафу вентиль на баллоне с хлористым водородом поворотом вентиля против часовой стрелки.

1.7.4 Подать хлористый водород в систему, повернуть вентиль редуктора по часовой стрелке.

1.7.5 Проверить расход по ротаметру для подачи хлористого водорода в реактор.

1.7.6 Перекрыть вентиль на баллоне с хлористым водородом поворотом вентиля по часовой стрелке, если расход хлористого водорода выходит за допустимые пределы и повторить переходы п.п. 7.1-7.1.4.

1.7.7 Если не устанавливается необходимый расход хлористого водорода при повторном включении п.п. 7.3-7.5, закрыть вентиль на баллоне, продуть систему азотом и сообщить об этом технологу, мастеру или начальному участка. Категорически запрещается во время работы с хлористым водородом производить регулировку давления в линии с хлористым водородом.

1.8 Менять кварцевые реакторы при отрицательных результатах по напряжению отсечки, не реже одного раза в квартал.

1.9 Проводить контрольный процесс, выполняя требования технологической инструкции согласно табл. 1, после смены баллона с хлористым водородом, после смены оснастки реактора и перед каждым процессом, если время между процессами превышает 24 часа.

1.10 Проводить процесс без использования экранных пластин.

1.11 Проводить оценку контрольного процесса по напряжению отсечки согласно вольт-емкостных характеристик по ТВО 336 568 ТК, 17.60303.00002.

В случае отклонения от нормы напряжения отсечки, указанный в таблице 2, продуть реактор, оснастку хлористым водородом, провести повторно контрольный процесс, а при отрицательных результатах сменить реактор, оснастку.

1.12 Фильтры для очистки хлористого водорода заменять ежемесячно с отметкой о сроке замены и росписью наладчика в журнале.

Технологический процесс.

2.1 Провести технологический процесс, выполняя переходы технологических инструкций, в соответствии с требованиями таблицы режима соответствующего процесса. Во время процесса следить за расходом хлористого водорода, кислорода.

2.2 По окончании технологического процесса:

1) перекрыть вентиль на баллоне с хлористым водородом поворотом вентиля по часовой стрелке.

2) переключить вентиль на редукторе поворотом против часовой стрелки.

3) продуть систему азотом, выполняя переходы п.п. 6.1.

Табл. 1.

Наименование оборудования	Обозначение	Обозначение документа
Система диффузионная многотрубчатая СДОМ 3Л00	ДЕМ1 055 009	17.25001.00006
Система автоматизированная диффузионная АДС6-100	ДЕМ1 055 001	17.25001.00042

ОПЕРАЦИЯ УДАЛЕНИЕ ФОТОРЕЗИСТА В СМЕСИ КАРО

Оборудование.

установка химической обработки ЩЦМЗ 240 212

нагреватель ультрачистых сред ЩЦМЗ 031 173

кассета Æ 07-0518

тара межоперационная ЩИТ - 725

пинцет Æ 09-1114

держатель Æ 03-0767

стекло 093-2, КЛ.2, штабик 50 ОСТ 11 110735 002-73

нарукавники полиэтиленовые ТУ 95 7037-73

термометр жидкостной стеклянный тип А ГОСТ 28 498-90

пластина со структурами 17.10201.00024

водорода перекись 17.10201.00022

кислота серная 17.10201.00024

Рекомендуем скачать другие рефераты по теме: научные текст, реферат на тему отношения.

Предыдущая страница реферата | 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10 | Следующая страница реферата