3

Простота резиста и его стоимость

4

2

2

3

3

1

1

2

3

Стоимость оборудования

5

3

2

3

3

1

2

2

1

Простота управления

5

4

3

3

3

4

3

2

3

Восприимчивость к дефектам

1

3

4

4

5

4

4

4

3

Перспективы развития для субмикронной литографии

1

2

4

3

3

5

3