Предыдущая страница реферата | 1  2  3  4  5  6  7 | Следующая страница реферата

Температура 400ОС. SiH4+O2.

Установка “Аксин”.
31. 7Я фотолитография.

Вскрытие контактных площадок.
32. 8Я фотолитография.

Защита пластин фоторезистом.
33. Контроль ВАХ (пробивное напряжение, пороговое напряжение, прямое напряжение и др.).
34. Контроль электрических параметров.
35. Контроль внешнего вида.

ОПЕРАЦИЯ СПЕЦОКИСЛЕНИЕ

Оборудование.

. система диффузионная (см табл. 1)
. стол монтажный СМ-4 А2МО 238 001 ТУ
. реактор кварцевый (07-0397
. реактор кварцевый (07-0541
. крючок кварцевый (09-1067
. лодочка кварцевая (09-1216
. подставка (09-1215
. стаканчик СВ24/70 ГОСТ 25 336-82
. пинцет ПС 160х3.0 ТУ 64-1-37-78
. пинцет (09-1114
. часы электрические вторичные показывающие ВЧС2-М2ПВ-400-323К ТУ 25-67-
1503-82
. пластина кремния 7590592 10300 00022
. пластина кремния спутник 7590592 10300 00022
. водород хлористый сжиженный марки Э ТУ 6-01-4689387-42-90
. спирт этиловый ректификованный технический марки “Экстра” ГОСТ 18300-87
. кислород СТП ТВО 054 003-89
. азот СТП ТВО 054 003-89
. напальчники типа II вида Б№4 ТУ 38.106567-88
. салфетка из мадаполама (350х253) мм 7590592 10301 00043
. салфетка из батиста (150х150) мм 7590592 10301 00045
. пленка полиэтиленовая марки На, полотно, 0,040х1400, I сорт ГОСТ 10354-82

Подготовка рабочего места и организация трудового процесса.

1.1 Подготовку рабочего места и организацию трудового процесса проводить в соответствии с требованиями табл. 1.
1.2 Технологическую операцию осуществлять с соблюдением требований
ТВО 045 954 ИОТ, 17.25351.00003 ИОТ, ТВО 045 829 ИОТ, ТВО 045 982 ИОТ.
1.3 Соблюдать требования производственной гигиены по СТП 17-001-90.
1.4 Параметры микроклимата должны соответствовать СТП 17-001-90:
(1000,10000; 22(2; 50(10).
1.5 Время межоперационного хранения пластин должно соответствовать требованиям СТП 17-097-88.
1.6 Проверить наличие вытяжной вентиляции на системе диффузионной, в специальном шкафу для хранения баллона перед началом работы с хлористым водородом. Производить работу с хлористым водородом при выключенной вентиляции запрещается. При отключении вентиляции немедленно закрыть вентиль на баллоне с хлористым водородом.
1.7 Продуть кварцевый реактор, оснастку хлористым водородом с расходом(10-
15) л/час не менее 30 минут:
1) вначале первой смены;
2) после смены оснастки, трубы;
3) замены баллона с хлористым водородом;
4) если время между процессами превышает 24 часа, с последующей продувкой азотом не менее 10 минут с расходом согласно таблице 2.
1.7.1 Перед включением хлористого водорода продуть линию подачи магистральным азотом не менее 10 минут с расходом согласно таблице 2.
1.7.1.1 Включить подачу азота, регулируя расход натекателем на ротаметре.
1.7.1.2 Открыть вентиль подачи азота на линию хлористого водорода (вентиль с маркировкой “N2”).
1.7.1.3 Открыть вентиль с маркировкой, установить расход (10-15) л/час натекателем на ротаметре. Регулировать давление в магистрали при необходимости редуктором низкого давления .
1.7.1.4 Выключить продувку азотом, перекрыть вентиль с маркировкой “N2”.
1.7.2 Выставить необходимый расход кислорода согласно табл. 2.
1.7.3 Открыть в вытяжном шкафу вентиль на баллоне с хлористым водородом поворотом вентиля против часовой стрелки.
1.7.4 Подать хлористый водород в систему, повернуть вентиль редуктора по часовой стрелке.
1.7.5 Проверить расход по ротаметру для подачи хлористого водорода в реактор.
1.7.6 Перекрыть вентиль на баллоне с хлористым водородом поворотом вентиля по часовой стрелке, если расход хлористого водорода выходит за допустимые пределы и повторить переходы п.п. 7.1-7.1.4.
1.7.7 Если не устанавливается необходимый расход хлористого водорода при повторном включении п.п. 7.3-7.5, закрыть вентиль на баллоне, продуть систему азотом и сообщить об этом технологу, мастеру или начальному участка. Категорически запрещается во время работы с хлористым водородом производить регулировку давления в линии с хлористым водородом.
1.8 Менять кварцевые реакторы при отрицательных результатах по напряжению отсечки, не реже одного раза в квартал.
1.9 Проводить контрольный процесс, выполняя требования технологической инструкции согласно табл. 1, после смены баллона с хлористым водородом, после смены оснастки реактора и перед каждым процессом, если время между процессами превышает 24 часа.
1.10 Проводить процесс без использования экранных пластин.
1.11 Проводить оценку контрольного процесса по напряжению отсечки согласно вольт-емкостных характеристик по ТВО 336 568 ТК, 17.60303.00002.
В случае отклонения от нормы напряжения отсечки, указанный в таблице 2, продуть реактор, оснастку хлористым водородом, провести повторно контрольный процесс, а при отрицательных результатах сменить реактор, оснастку.
1.12 Фильтры для очистки хлористого водорода заменять ежемесячно с отметкой о сроке замены и росписью наладчика в журнале.

Технологический процесс.

2.1 Провести технологический процесс, выполняя переходы технологических инструкций согласно табл. 2, в соответствии с требованиями таблицы режима соответствующего процесса. Во время процесса следить за расходом хлористого водорода, кислорода.
2.2 По окончании технологического процесса:
1) перекрыть вентиль на баллоне с хлористым водородом поворотом вентиля по часовой стрелке.
2) переключить вентиль на редукторе поворотом против часовой стрелки.
3) продуть систему азотом, выполняя переходы п.п. 6.1.
2.3 Произвести измерения толщины окисла в соответствии с требованиями
17.25202.00004 в трех точках пластины-спутник. Толщина окисла должна соответствовать норме, заданной в таблице 2.
2.4 Заполнить сопроводительный лист и рабочий журнал.
2.5 Годные пластины передать на следующую операцию.

Табл. 1.

|Наименование оборудования |Обозначение |Обозначение |
| | |документа |
|Система диффузионная многотрубчатая |ДЕМ1 055 009 |17.25001.00006 |
|СДОМ 3Л00 | | |
|Система автоматизированная |ДЕМ1 055 001 |17.25001.00042 |
|диффузионная АДС6-100 | | |

Табл. 2.

|Температура |Номер |Время, мин.|Наименование |Шифр |Расход газов л/час |Толщина |
|рабочей зоны |интервал| |временного |команд | |окисла, А |
|печи С0, (1 |а | |интервала | |О2 (30 N2 ( 30 | |
| | | | | |HCl* | |
| |1 |12(1 |Загрузка |9,13 |270 |- |- | |
| |2 |10(1 |Рабочий режим |9 |270 |- |- | |
| |3 |0.3(0.5 |Сигнализация |9,12 |270 |- |- | |
| |4 |90(40 |Рабочий режим |9 |270 |- |10-15 | |
|1000 |5 |0.3(0.5 |Сигнализация |9,12 |270 |- |10-15 |800(1100 А|
| |6 |10(90 |Рабочий режим |6 |- |300 |- | |
| |7 |12(1 |Выгрузка |6,14 |- |300 |- | |
| |8 |0.3(0.5 |Сигнализация |6,12 |- |300 |- | |
| |9 |Между |Продувка |9 |270 |- |- | |
| | |процессами | | | | | | |

ОПЕРАЦИЯ УДАЛЕНИЕ ФОТОРЕЗИСТА В СМЕСИ КАРО

Оборудование.

. установка химической обработки ЩЦМЗ 240 212
. нагреватель ультрачистых сред ЩЦМЗ 031 173
. кассета (07-0518
. тара межоперационная ЩИТ - 725
. пинцет (09-1114
. держатель (03-0767
. стекло 093-2, КЛ.2, штабик 50 ОСТ 11 110735 002-73
. нарукавники полиэтиленовые ТУ 95 7037-73
. термометр жидкостной стеклянный тип А ГОСТ 28 498-90
. пластина со структурами 17.10201.00024
. водорода перекись 17.10201.00022
. кислота серная 17.10201.00024
. вода деионизованная марка А ТВО 029 001 МК-02
. спирт этиловый ректификованный технический марка “Экстра” ГОСТ 18300-87
. перчатки резиновые А7-10 ГОСТ 3-88
. салфетка из мадаполама ТВО 054 115 МК-01
. салфетка из батиста ТВО 054 108 МК-02

Настоящая карта устанавливает порядок проведения процесса удаления пленок фоторезиста с кремниевых пластин, не имеющих металлических покрытий, в серной кислоте, а затем в смеси серной кислоты и перекиси водорода (смеси
Каро).

Требования безопасности.

1.1 При проведении данного процесса возможны следующие виды опасности:

1) химические ожоги;

2) отравления;

3) электроопасность;

4) термоопасность;

Рекомендуем скачать другие рефераты по теме: банк курсовых работ бесплатно, сочинения по русскому языку, реферат на тему безопасность.





Предыдущая страница реферата | 1  2  3  4  5  6  7 | Следующая страница реферата